《微纳米加工技术及其应用（第3版）》集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技 术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工 技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型工艺参数；充分分析各种技术的优缺点及在应用过程 中的注意事项；以大量图表与实例说明各种加工方法，避免烦琐的数学分析；并以专门一章介绍微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用，包括超大规模集成电路 技术、纳米电子技术、光电子技术、高密度磁存储技术、微机电系统技术、生物芯片技术和纳米技术。通过应用实例说明现代高新技术与微纳米加工技术的不可分割 的关系，并演示如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。

与国内外同类出版物的相比，《微纳米加工技术及其应用（第3版）》的显 著特点是将用于超大规模集成电路生产、用于微机电系统制造与用于纳米技术研究的微纳米加工技术综合介绍，并加以比较。首次将微纳米加工归纳为平面工艺、探 针工艺和模型工艺三种主要类型，突出了微纳米加工与传统加工技术的不同之处。全书既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展，并列举大量参考文 献与互联网链接网址，供进一步发掘详细信息与深入研究。因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人 员，都具有很好的参考价值。