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- 3.1 光刻
- 3.1.1光学光刻
- 3.1.2 电子束光刻
- 3.1.3 离子束光刻
- 3.1.4 X射线光刻
- 3.2 软刻蚀
- 3.2.1微接触印刷术
- 3.2.2 复制模塑
- 3.2.3 转移微模塑
- 3.2.4 毛细微模塑
- 3.2.5 溶剂辅助微模塑
- 3.3 “蘸水笔”纳米刻蚀术
- 3.3.1 阵列化的磁性纳米结构
- 3.3.2 各种固态纳米结构的制备
- 3.3.3 DPN构造生物分子微纳米阵列结构
- 3.4 纳米球刻蚀
- 3.4.1 单层周期性微粒阵列
- 3.4.2 双层周期性微粒阵列
- 3.4.3 纳米环
- 3.4.4 用SLPPAs为模板通过共价吸附纳米微粒自组装
- 3.4.5 角分辨纳米球刻蚀
- 3.5 自组装
- 3.5.1 静态自组装
- 3.5.2 动态自组装
- 参考文献